光子芯片制程中光刻等多项核心工艺，对光子产业有影响吗？

#陕西光电子先导院# #赵卫# #陕西攻克光子芯片多项核心工艺# 陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台3月30日在西安高新区全面启用。该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺，将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务，为光子产业各类创新主体打通从产品研发到市场化批量供货的完整链条。